Polvo de lapeado de carburo de silicio verde para obleas semiconductoras GC800#
Introducción
El polvo de lapeado de carburo de silicio (SiC) verde GC800# es un material abrasivo sintético de alta pureza diseñado para cumplir con los requisitos precisos y exigentes del lapeado y pulido de obleas de semiconductores.
Este producto está diseñado específicamente para aplicaciones donde el acabado superficial excepcional, la planitud y el daño mínimo debajo de la superficie son fundamentales para el rendimiento de los circuitos integrados.
Su dureza superior y su morfología de partículas controlada lo convierten en una opción ideal para procesos avanzados de fabricación de semiconductores.
PROPIEDADES FÍSICAS
| Peso específico | 3,95 g/ cm3 |
| Dureza de Mohs | 9.5 |
| Temperatura máxima de servicio | 1900℃ |
| Punto de fusión | 2250℃ |
Análisis químico típico [%]
| Sic | Fe2O3 | FC | F.Si | SiO2 | LEY |
| 98.0-99.5 | ≤0,15 | ≤0,30 | ≤0,40 | ≤0,70 | < 0,09 |
DISTRIBUCIÓN DEL TAMAÑO DE PARTÍCULAS
CAPÍTULO Ⅰ (NORMA JIS)
| Tamaño | D O (uno) | D 3 (um) | D 50 (uno) | D 94 (um) |
| #240 | ≤127 | ≤103 | 57,0 ± 3,0 | ≥40 |
| #280 | ≤112 | ≤87 | 48,0 ± 3,0 | ≥33 |
| #320 | ≤98 | ≤74 | 40,0 ± 2,5 | ≥27 |
| #360 | ≤86 | ≤66 | 35,0 ± 2,0 | ≥23 |
| #400 | ≤75 | ≤58 | 30,0 ± 2,0 | ≥20 |
| #500 | ≤63 | ≤50 | 25,0 ± 2,0 | ≥16 |
| #600 | ≤53 | ≤41 | 20,0 ± 1,5 | ≥13 |
| #700 | ≤45 | ≤37 | 17,0 ± 1,5 | ≥11 |
| #800 | ≤38 | ≤31 | 14,0 ± 1,0 | ≥9.0 |
| #1000 | ≤32 | ≤27 | 11,5 ± 1,0 | ≥7.0 |
| #1200 | ≤27 | ≤23 | 9,5 ± 0,8 | ≥5,5 |
| #1500 | ≤23 | ≤20 | 8,0 ± 0,6 | ≥4,5 |
| #2000 | ≤19 | ≤17 | 6,7 ± 0,6 | ≥4.0 |
| #2500 | ≤16 | ≤14 | 5,5 ± 0,5 | ≥3.0 |
| #3000 | ≤13 | ≤11 | 4,0 ± 0,5 | ≥2.0 |
| #4000 | ≤11 | ≤8.0 | 3,0 ± 0,4 | ≥1,8 |
| #6000 | ≤8.0 | ≤5.0 | 2,0 ± 0,4 | ≥0,8 |
| #8000 | ≤6.0 | ≤3,5 | 1,2 ± 0,3 | ≥0,6 |
CAPÍTULO II (ESTÁNDAR FEPA)
| Tamaño | D 3 (um) | D 50 (uno) | D 94 (um) |
| F230 | ＜82 | 53,0 ± 3,0 | >34 |
| F240 | <70 | 44,5 ± 2,0 | >28 |
| F280 | <59 | 36,5 ± 1,5 | >22 |
| F320 | <49 | 29,2 ± 1,5 | >16.5 |
| F360 | <40 | 22,8 ± 1,5 | >12 |
| F400 | ＜32 | 17,3 ± 1,0 | >8 |
| F500 | ＜25 | 12,8 ± 1,0 | >5 |
| F600 | <19 | 9,3 ± 1,0 | >3 |
| F800 | <14 | 6,5 ± 1,0 | >2 |
| F1000 | <10 | 4,5 ± 0,8 | >1 |
| F1200 | ＜7 | 3,0 ± 0,5 | >1(al 80%) |
| F1500 | ＜5 | 2,0 ± 0,4 | >0,8 (al 80%) |
| F2000 | <3.5 | 1,2 ± 0,3 | >0,5 (al 80%) |
Principales aplicaciones
-Abrasivos aglomerados y abrasivos revestidos
-Clavado, tratamiento de superficies, eliminación de óxido
– Medios de chorro húmedo y seco, esmerilado y pulido, etc.
-Laminados para suelos y paredes, resistentes al desgaste.
-Productos cerámicos: Cerámica y azulejos, placas de filtro de cerámica, membranas cerámicas, etc.
-Pintura de teflón, etc.
– Material aislante del calor
-Muelas abrasivas, muelas de copa, piedras de afilar, almohadillas de pulido, etc.
-Se utiliza para crisoles, piezas para hornos de cocción, sellos mecánicos y materiales de piezas para producir semiconductores.
